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基于金属有机框架结构的动力响应型铜缓蚀剂制备与应用
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专利号
202111270473X
专利类型
发明
申请日
2021-10-29 00:00:00
公开日
2022-02-01 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
C23F11/173
技术领域
C-化学；冶金
申请人/权利人
武汉楚博士科技股份有限公司; 华中科技大学
摘要
本发明属于缓蚀剂技术领域，具体涉及基于金属有机框架结构的动力响应型铜缓蚀剂制备与应用。本发明制备方法包括：(1)以锌化物和1‑(3‑氨丙基)咪唑为原料，以极性不弱于六甲基磷酰胺的强极性有机溶剂为反应溶剂，通过溶剂热反应合成金属有机框架材料；(2)将杂环类缓蚀剂溶液与金属有机框架材料分散液混合均匀，使杂环类缓蚀剂负载到金属有机框架材料中，即可获得所述金属有机框架结构的动力响应型铜缓蚀剂。本发明形成了