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一种基于红外发射和探测集成芯片的红外气体传感器
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专利号
2019102926483
专利类型
发明
申请日
2019-04-12 00:00:00
公开日
2019-08-06 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
G01N21/3518
技术领域
G-物理
申请人/权利人
华中科技大学鄂州工业技术研究院; 华中科技大学
摘要
本发明公开了一种基于红外发射和探测集成芯片的红外气体传感器，包括基板、盖板、红外发射和探测集成芯片和腔体；所述基板与所述盖板平行设置，所述腔体设置于所述基板与所述盖板之间，所述红外发射和探测集成芯片设置于所述基板上并位于所述腔体中；所述腔体的表面设置有红外反射膜，以使所述红外发射和探测集成芯片一侧发射红外辐射后，经所述腔体反射传播，由所述红外发射和探测集成芯片另一侧探测所述红外辐射。本发明通过采用