***
凸轮驱动的晶圆定位及托起装置
知法狮VIP-黄金卡
尊享会员价、24小时在线客服、7天无理由退换货
立即开通
贴心服务
快速响应
售后保障
快捷支付
专业团队
担保交易
领券
无门槛减69.99
满2000减138
- 介绍
- 参数
请编辑该产品详情...
价格
***
专利号
2021102364036
专利类型
发明
申请日
2021-03-03 00:00:00
公开日
2022-05-10 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
B24B29/02
技术领域
B-作业；运输
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开一种凸轮驱动的晶圆定位及托起装置，包括定位装置和托起装置，定位装置包括驱动电机、凸轮板和定位传动组件，定位传动组件一端连接凸轮板上的凸轮槽，另一端设置浮动定位指，驱动电机通过传动机构带动凸轮板旋转，从而带动浮动定位指沿径向向内运动，实现晶圆精准定心，随后托起装置对晶圆进行夹取和托起。本发明采用一组驱动机构带动多个浮动定位指运动，同步性好，实现对晶圆高精度定心。驱动盘内的弹簧可实现力矩缓冲