2017105520379

发明

2017-07-07 00:00:00

2017-09-22 00:00:00

有效

中国

H01J37/04

H-电学

桂林电子科技大学

本发明公开一种高能带电粒子束从真空到大气的引出窗口，其窗口的主体由等离子体纵向引射式气动窗口组成，利用了超音速等离子体的动能压力和等离子体高温双重隔离作用，引出窗口能获得极大的真空梯度，真空隔离效果极佳，此外，通过改变电极与主电源的正负极接线，可实现等离子体对通过其的带不同电性粒子束起向心汇聚作用。本发明能够解决高能带电粒子束加工制造装备在大气环境中进行加工制造存在的两大关键技术难题。