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一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法
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专利号
2021112411550
专利类型
发明
申请日
2021-10-25
公开日
2023-07-21
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
G01N27/623
技术领域
G-物理
申请人/权利人
广西电网有限责任公司电力科学研究院
摘要
本发明一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，检测设备包括：快插接头、减压阀、流量计、第一开关阀、第二开关阀、飞行时间质谱仪和离子迁移谱；飞行时间质谱仪和离子迁移谱并联，其中飞行时间质谱仪对SF6分解产物进行监测，离子迁移谱对SF6气体的纯度进行监测；飞行时间质谱仪和离子迁移谱可以分开进行监测，由于离子迁移谱的分析速度快，可进行设备的快速筛查，当发现问题时再采用飞行时间质谱仪对SF6产生的