***
一种基于反射光栅的微位移测量装置及方法
知法狮VIP-黄金卡
尊享会员价、24小时在线客服、7天无理由退换货
立即开通
贴心服务
快速响应
售后保障
快捷支付
专业团队
担保交易
领券
无门槛减69.99
满2000减138
- 介绍
- 参数
请编辑该产品详情...
价格
***
专利号
2021113572121
专利类型
发明
申请日
2021-11-16 00:00:00
公开日
2022-03-08 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
G01B11/02
技术领域
G-物理
申请人/权利人
华中科技大学; 西南电子技术研究所(中国电子科技集团公司第十研究所)
摘要
本发明属于微位移测量技术领域，并具体公开了一种基于反射光栅的微位移测量装置及方法。该种微位移测量装置包括底座、光源组件、微结构、透镜组件以及成像组件，其中微结构顶部为微米级反射光栅；该种微位移测量装置通过光源组件向反射光栅发射平行可见光，光线经过光栅衍射后穿过透镜组件的凸透镜，在成像组件的面阵CCD上显示一系列等距离排列的衍射光斑；待测物体在反射光栅上沿垂直于光栅反射条方向移动，并遮蔽反射光栅的反