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电子压缩感知超快成像装置及制备方法
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专利号
2021112463771
专利类型
发明
申请日
2021-10-26 00:00:00
公开日
2022-02-08 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
H01J49/06
技术领域
H-电学
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开了一种电子压缩感知超快成像装置及制备方法，属于超快电子显微成像领域，装置包括：依次设置且密封连接的电子枪、测量腔、扫描腔和电子成像记录单元，以及样品架和扫描极板；金属掩模板，位于扫描腔内且介于样品架和扫描极板之间，包括采用伪随机二值矩阵分布的镂空像元和非镂空像元，非镂空像元中各处均连通；电子枪产生电子束并射入样品表面，以生成包含样品结构信息的电子斑；部分电子斑通过镂空像元输出，其余电子斑