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超灵敏电容式柔性压力传感器及其制备方法
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专利号
2020116191659
专利类型
发明
申请日
2020-12-31 00:00:00
公开日
2021-05-25 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
G01L1/14
技术领域
G-物理
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明属于电容传感器领域，并具体公开了超灵敏电容式柔性压力传感器及其制备方法。该超灵敏电容式柔性压力传感器包括上电极层、中间电介质层和下电极层，其中：上电极层和下电极层的结构相同，均包括柔性基体材料和镶嵌在该柔性基体材料表面的导电材料；中间电介质层的表面具有微凹槽结构，同时该微凹槽结构内部设置有微锥结构，以通过增大中间电介质层与上电极层或下电极层的接触面积，提高超灵敏电容式柔性压力传感器的灵敏度。