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用于动态眼压测量的光学光栅柔性传感器及其制造方法
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专利号
2019102496447
专利类型
发明
申请日
2019-03-29 00:00:00
公开日
2019-07-16 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
A61B3/16
技术领域
A-人类生活必需
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开了一种用于动态眼压测量的光学光栅柔性传感器的制造方法，属于动态眼压测量领域，包括：在硅衬底上旋涂光刻胶，显影、定影得到由剩余光刻胶形成的微纳米尺寸图纹；以剩余光刻胶做掩膜，利用干法刻蚀硅衬底，得到纳米尺寸图纹；除去剩余光刻胶，得到硅凹模，将其图纹复制到树脂片；在所述树脂片上喷银，然后进行微电铸，将树脂片上的图纹复制在镍片上，得到镍凹模；将制造隐形眼镜的液态原料或固态毛坯注入镍凹模进行铸压