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一种金刚石陶瓷复合划片刀及其制备方法
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专利号
2020106099783
专利类型
发明
申请日
2020-06-29 00:00:00
公开日
2020-09-25 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
C04B26/12
技术领域
C-化学；冶金
申请人/权利人
广东华中科技大学工业技术研究院
摘要
本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及一种金刚石陶瓷复合划片刀及其制备方法，原料包括树脂、金刚石、无机填料和造孔剂，经过混料、填料、热压、二次硬化等步骤制作，并使用其特制模具制成，模具包括两个压型模、设置在两个压型模中间的外型模及设置在压型模下端的内型模；内型模包括底板和均匀固定在底板上端面的内型限位柱；压型模包括上和均匀固定在上板端面的压型管，内型限位柱外径与压型管内径相匹配；外型模包括中板和均匀开