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一种原子力显微镜压电驱动器的多轴耦合迟滞预测方法
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专利号
2021113991356
专利类型
发明
申请日
2021-11-19 00:00:00
公开日
2022-03-01 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
H02N2/06
技术领域
H-电学
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开了一种原子力显微镜压电驱动器的多轴耦合迟滞预测方法，采集原子力显微镜压电管扫描器X轴由Y轴耦合产生的位移时间序列，利用观测函数和Koopman算子将原来的数据提升到高维空间，将多轴耦合非线性关系用线性的方程表示，其中利用提升数据构造汉克矩阵，并且利用两次降维，得到系统的模态信息，最终实现多轴耦合模型的建立。本发明所设计的预测方法能够对原子力显微镜压电管扫描器的多轴耦合进行建模，并对多轴耦