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一种多能场辅助超短脉冲激光加工过程监测装置及方法
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专利号
202011209948X
专利类型
发明
申请日
2020-11-03 00:00:00
公开日
2021-04-02 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
B23K26/03
技术领域
B-作业；运输
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开了一种多能场辅助超短脉冲激光加工过程监测装置及方法，通过控制运动平台，使超短脉冲激光器发出的激光通过光路元件后聚焦在工件表面，以诱导等离子体进行微细加工；并在超短脉冲激光微细加工过程中引入声场‑磁场‑流场耦合作用，同时利用高倍率相机以及纹影仪观测不同时间和空间尺度下等离子体演变过程、气泡脉动过程以及材料去除过程，捕捉加工过程中流场、光场、声场的信号变化，并利用热像仪全方位观测加工区域和周