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一种适用于准分子激光器的恒温控制系统
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专利号
2016104815570
专利类型
发明
申请日
2016-06-27 00:00:00
公开日
2016-09-28 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
H01S3/00
技术领域
H-电学
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开了一种适用于准分子激光器的恒温控制系统，其包括干路及支路，所述恒温控制系统还包括设置在所述干路上的电磁阀、第一流量传感器、分流器及集流器、设置在所述支路上的第一比例阀、第二比例阀、第二流量传感器、第三流量传感器、自动控温腔体及第一单向阀、下位机及与所述下位机通讯的工控机。所述工控机用于发送指令以控制准分子激光器的重复频率，并将所述重复频率信息通过RS485协议传输给所述下位机；所述下位机