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一种高功率分布反馈激光器
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专利号
2021105833045
专利类型
发明
申请日
2021-05-27 00:00:00
公开日
2021-08-31 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
H01S5/125
技术领域
H-电学
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开一种高功率分布反馈激光器,包括反射区、有源区和无源区,有源区、无源区和反射区内由下至上依次设置有下电极层、下波导盖层、无源波导层和上波导盖层,有源区的无源波导层和上波导盖层之间由下至上依次设置有有源层和有源波导层,有源波导层上设置有相移区,反射区和无源区一端设置有增透膜;上波导盖层上形成有脊波导结构,有源区内脊波导上由下至上依次设置有欧姆接触层和上电极层;有源层包括由下至上依次设置的下分
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