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一种用于MEMS重力仪测试的恒温装置
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专利号
2021106650959
专利类型
发明
申请日
2021-06-16 00:00:00
公开日
2021-08-17 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
G01V13/00
技术领域
G-物理
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开了一种用于MEMS重力仪测试的恒温装置，包括由内到外依次嵌套的三级恒温单元，各级恒温单元的温控区域由外到内依次减小，且最外层采用真空腔作为被控腔体，减小了热对流和热传导对MEMS重力仪的影响，并抑制了空气浮力，能够大大提高温度的控制精度；另外，由于各级温控单元的温控点由内到外依次递减，形成了一条由内到外的散热通道，使得本发明在无需外加其他散热装置的前提下能够通过主动温控和被动温控相结合的