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一种用于超精密设备的微振动主动补偿系统
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专利号
2022100603959
专利类型
发明
申请日
2022-01-19 00:00:00
公开日
2022-05-17 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
F16F15/02
技术领域
F-机械工程；照明；加热；武器；爆破
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明属于超精密减振相关技术领域，其公开了一种用于超精密设备的微振动主动补偿系统，系统包括：相对设置的总成上板和总成下板；多个单元减振器，多个单元减振器设于总成上板和总成下板之间且均匀分布于同一圆周；每一单元减振器包括双向洛伦兹电机、位移传感器组件、速度传感器组件、弹簧组件、上安装板、下安装板以及多个探测板，其中，双向洛伦兹电机包括正交布置的垂向电机和水平向电机；位移传感器组件包括正交布置的垂向位