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杠杆驱动的晶圆定位及托起机构
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专利号
2021102364021
专利类型
发明
申请日
2021-03-03 00:00:00
公开日
2022-05-10 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
B24B29/02
技术领域
B-作业；运输
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开一种杠杆驱动的晶圆定位及托起机构，包括设置在底板上的定位装置和托起装置，定位装置包括驱动装置、中心板、缓冲装置、以及沿中心板周向均匀设置的至少三组撬杆和浮动定位指，缓冲装置为设置在底板与中心板之间的弹簧；驱动装置下压中心板并使弹簧压缩，晶圆进入浮动定位指内侧，然后驱动装置回旋，弹簧释放蓄能推动中心板上移，三个撬杆被同时抬起，三个浮动定位指同时向中心靠拢作定心夹紧，实现晶圆同步向心。本发明