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粉体包覆反应器、超声流化原子层沉积包覆装置及其应用
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专利号
2021111634087
专利类型
发明
申请日
2021-09-30 00:00:00
公开日
2022-02-22 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
C23C16/442
技术领域
C-化学；冶金
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明提供了一种粉体包覆反应器、超声流化原子层沉积包覆装置及其应用。该粉体包覆反应器包括反应筒和多个传振片；反应筒的两端具有开口，反应筒的侧壁上开设有多个第一通孔；多个传振片依次间隔设置于反应筒内，每个传振片的边缘密封连接于反应筒的内壁，多个传振片将反应筒的内腔分隔为沿一端开口至另一端开口方向上依次分布的多个子腔体，传振片上设置有用于供粉体在该传振片相邻的两个子腔体之间通过的第二通孔。上述粉体包覆