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一种金属及金属化合物三维微纳结构的制备方法
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专利号
2022113331045
专利类型
发明
申请日
2022-10-28 00:00:00
公开日
2023-01-03 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
B22F10/20
技术领域
B-作业;运输
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明属于微纳加工相关技术领域,并公开了一种金属及金属化合物三维微纳结构的制备方法,包括:将金属盐水溶液与配位单体超声混合,使其充分反应得到前驱体溶液;向前驱体溶液中加入光敏聚合单体及光引发剂,得到金属离子复合光敏树脂;采用飞秒激光直写技术将金属离子复合光敏树脂加工成型为目标3D立体结构,然后进行显影;最后进行煅烧处理。通过本发明,能够制备出多种金属及金属化合物的3D微纳结构,并且结晶性好,结构形
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