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一种亚微米精度非接触式球内外表面间距测量的装置
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专利号
2021113897640
专利类型
发明
申请日
2021-11-22 00:00:00
公开日
2022-03-18 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
G01B11/14
技术领域
G-物理
申请人/权利人
华中科技大学
摘要
本发明公开了一种亚微米精度非接触式球内外表面间距测量的装置，包括：标准具、激光模块、光路模块、图像采集处理模块和光路对准模块；激光模块用于发射并测量波长可溯源的激光光束；标准具放置于待测球体内侧或外侧，用于反射激光并与球面反射光形成干涉条纹；光路模块用于实现激光光束的反射与对准；图像采集处理模块用于接收所述干涉条纹，存储并处理采集的干涉条纹图像；光路对准模块用于调节球心连线与所述激光光束的平行。本