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一种镀膜装置
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价格
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专利号
2022235118117
专利类型
实用新型
申请日
2022-12-28 00:00:00
公开日
2023-04-18 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
C23C14/24
技术领域
C-化学；冶金
申请人/权利人
桂林理工大学
摘要
本实用新型提供一种镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室上端为开口状，所述镀膜室上端安装有可拆卸的顶盖，所述顶盖上表面均匀安装有多个贯穿顶盖的上V型罩，所述上V型罩的两侧边正下方均设有用于收集镀膜液的下V型罩，所述下V型罩两侧面均为开口状并与镀膜室滑动接触，所述下V型罩与顶盖连接固定，所述镀膜室一侧面上部位置均匀安装有多个分别与多个下V型罩内部空间相通的弯管，所述弯管处于镀膜室外侧的一端与汇总管相连相通