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一种飞秒激光极端微孔加工在线监控装置
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价格
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专利号
2022225802497
专利类型
实用新型
申请日
2022-09-28 00:00:00
公开日
2023-05-12 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
G01B11/22
技术领域
G-物理
申请人/权利人
广西科技大学; 西安中科微精光子科技股份有限公司
摘要
本实用新型涉及飞秒激光微孔加工技术领域，具体是一种飞秒激光极端微孔加工在线监控装置，是一种在线扫频OCT监控模块，包括扫频光源(9)、光纤耦合器I(8)、循环器I(7)、偏振控制器I(6)、准直镜II(19)、准直镜III(21)、偏振控制器II(10)、循环器II(11)、准直镜I(12)、凸透镜(13)、全反射镜(14)、光纤耦合器II(16)、平衡探测器(15)和工控机(5)，该飞秒激光在线