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专利号
2021110110563
专利类型
发明
申请日
2021-08-31 00:00:00
公开日
2021-12-17 00:00:00
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
C21D1/09
技术领域
C-化学；冶金
申请人/权利人
桂林电子科技大学
摘要
本发明涉及电子束加工设备技术领域，尤其涉及一种电子束加工温控平台，包括底座；旋转平台，所述旋转平台通过旋转机构设置在所述底座上；水平移动机构设在所述旋转平台上；多组夹具组件并列设在水平移动机构上用于夹持加工工件；温度监测机构用于对所述夹具组件夹持的加工工件的温度进行监测；散热机构用于对所述夹具组件以及加工工件进行散热。本发明的有益效果是：本发明通过设置旋转平台以及水平移动机构辅助电子束设备实现多样