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一种基于开口谐振环结构的太赫兹生物传感器
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专利号
2020115182347
专利类型
发明
申请日
2020-12-21
公开日
2023-08-01
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
G01N21/3586
技术领域
G-物理
申请人/权利人
桂林航天工业学院
摘要
本发明公开了一种基于开口谐振环结构的太赫兹生物传感器，包括单元结构和基底层，所述单元结构的内部设置有开口谐振环，且开口谐振环的内部设置有顶层金属结构，所述顶层金属结构的下方设置有中间介电层，所述中间介电层的下方设置有底层金属层，且底层金属层的下方设置有基底层。该基于开口谐振环结构的太赫兹生物传感器通过分析了覆盖样品的厚度对吸收器灵敏度和吸收系数的影响，综合考虑选择样品厚度为15μm，使得该传感器对