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一种磷化氢尾气处理装置
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专利号
2023203031449
专利类型
实用新型
申请日
2023-02-23
公开日
2023-07-25
法律状态
有效
国家/地区
中国
IPC分类号
B01D53/78
技术领域
B-作业;运输
申请人/权利人
桂林电子科技大学
摘要
本实用新型涉及尾期处理技术领域,具体涉及一种磷化氢尾气处理装置。本实用新型包括进气管、球形反倒吸装置、进料管、尾气处理瓶、指示瓶以及出料管,所述球形反倒吸装置的内部与尾气处理瓶的内部通过尾气吸收管连接,所述尾气处理瓶的内部与指示瓶的内部通过连接管连接,所述尾气处理瓶和指示瓶的内部均装有反应液。本实用新型的有益效果是能够多级重复处理尾气,通过设置多个尾气处理瓶,实现对尾气多次处理,同时设置压力阀,使
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